光阻组成物

摘要

一种光阻组成物系包括具有下列通式之化合物：□ (Ⅰ)式中R1、R2 和 R3 为相同或相异之氢原子、羟基、-OCOR4、-O-R6、-OSi(R6)3、卤原子、任意取代之烷基、任意取代之烯基、任意取代之苯基或任意取代之芳烷基；R4、R5和R6为任意取代之低级烷基或任意取代之苯基；Ｘ和Ｙ为相同或相异之-CN、-COOR7、-CONR8R9、

主权项

1.一种光阻组成物系包括得自酚化合物与甲醛加 成缩合反 应之酚醛清漆树脂,二叠氮化合物及具有下列通 式(I) 之化合物,其中该化合物(I)之量为光阻组成物中固 体成 份重量的0.1-20wt%。其中R1,R2及R3为相同或异且为氢 原子,羟基,-OCOR4,-O-R5;R4及R5为C1-4烷基;X及Y 为相同或相异之-CN,-COOR6,-CONR7R8,R6为C1-4烷基 ;R7及R8为相同或相异之氢原子,或苯基;R9为氢原子, 或羟基;及a为1至2之数。2.如申请专利范围第1项所 述之光阻组成物,系包括甲酚 酚醛清漆树脂和聚羟基苯并苯酮与 -1,2-二叠氮 磺酸