| 主权项 |
1.一种多波长之标靶系统,包含一单一标靶测试图 型,具 有至少一可见光测试标靶、至少一近红外线测试 标靶及一 远红外线测试标靶;一耦合于所述单一标靶图型之 加热设 置;以及一有近红外线及可见光光源耦合于所述单 一标靶 测试图型之光照明设置;所述远红外线测试标靶用 以接收 红外线能而发射远红外线测试图型,所述近红外线 测试标 靶以接收光而发射近红外线测试图型,所述可见光 测试标 靶用以接收光而发射可见光测试图型。2.如申请 专利范围第1项之标靶系统,其中所述单一标靶 测试图型、所述加热装置、及所述照明设置相接 合以形成 一可供插入一光学准直仪系统内之单一坚固之统 合总成。3.如申请专利范围第1项之标靶系统,其中 所述照明设置 包含多数发光二极体在所述单一标靶图型后方经 由多数光 纤光学连接器连接至每一所述标靶。4.如申请专 利范围第3项之标靶系统,其中所述多数发光 二极体包括至少一第一发光二极体及一第二发光 二极体各 发射不同波长之光线,所述第一发光二极体经由光 纤光学 连接器设置连接至至少一所述标靶,所述第二发光 二极体 经由光纤光学连接器设置连接至该同一标靶,而其 中所述 第一及所述第二发光二极体所发所述光线经由一 光纤光学 连接器接合并经由一光纤光学连接器连接至至少 一所述标 靶。5.如申请专利范围第1项之标靶系统,其中至少 一所述标 靶系用光发射二极体设置所发光线照明。6.如申 请专利范围第5项之标靶系统,其中每一所述发光 二极体均经由各光球连接至至少一所述标靶之后 方,该等 光球将所述发光二极体所发光线聚焦至所述标靶 后方之一 点。7.如申请专利范围第2项之标靶系统,其中每一 所述光纤 光学连接器接合于所述标靶之末端均在一非所述 光纤光学 连接器纵轴垂直角之小角度上磨光以选择所导入 该光准直 仪之光线为最大之角度。8.如申请专利范围第7项 之标靶系统,其中所述在纤维上 之角度偏离所述垂直角之范围约2至10。9.如申请 专利范围第1项之标靶系统,其中每一所述标靶 均与所述单一标靶图型之中心分隔以使该标靶系 统在包括 于一光准直仪系统内时确能用作已校准光学测量 或测试装 置。10.如申请专利范围第1项之标靶系统,其中所 述单一标靶 图型包含一形成于一基质上之发射标靶。11.如申 请专利范围第10项之标靶系统,其中各所述可见 光标靶置于所述单一标靶图型周边之附近而近红 外线及远 红外线标靶置于所述单一标靶图型中心之附近。 12.如申请专利范围第1项之标靶系统,其中各所述 可见光 标靶置于所述单一标靶图型周边之附近而近红外 线及远红 外线标靶置于所述单一标靶图型中心之附近。13. 如申请专利范围第12项之标靶系统,其中每一所述 标 靶均相对于其他标靶准确分隔约1微米以允许光对 准测量 之准确度至少约有20微弪。14.如申请专利范围第11 项之标靶系统,其中每一所述标 靶均相对于其他标靶准确分隔约1微米以产生20微 弪或更 小之光分隔准确度并允许约30微弪或更小之光对 准测量。15.如申请专利范围第1项之标靶系统,其 中每一所述标靶 均相对于其他标靶准确分隔约1微米之位置准确度 ,如此 产生约小于20微弪之光准确度并允许至少约30微弪 之光对 准测量。16.一种多波长标靶系统,包含一基板;多 数在所述基板 面上形成之测试标靶,用以发射测试图型,由是所 述多数 标靶全部在同一焦面上;一红外线设置,耦合于所 述基板 上一第一测试标靶以发射远红外线测试图型;一光 照明设 置,耦合于所述基板上之第二及第三测试标靶以驱 动该第 二测试标靶发射近红外线测试图型,并驱动该第三 测试标 |
