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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH04119645(A) 申请公布日期 1992.04.21
申请号 JP19900240442 申请日期 1990.09.10
申请人 ROHM CO LTD 发明人 AIHARA KAZUHIRO;TANAKA KAZUAKI;SHIBATA KOJI
分类号 H01L21/60;H01L23/12 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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