APPARATUS AND METHOD FOR ESTIMATING THICKNESS OF SEMICONDUCTOR MULTILAYER THIN FILM,申请号JP19900241439-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS AND METHOD FOR ESTIMATING THICKNESS OF SEMICONDUCTOR MULTILAYER THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH04120404(A)	申请公布日期	1992.04.21
申请号	JP19900241439	申请日期	1990.09.11
申请人	JASCO CORP;MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	NISHIZAWA SEIJI;FUKAZAWA RYOICHI;TAKAHASHI TOKUJI;HATTORI AKIRA
分类号	G01B11/06	主分类号	G01B11/06
代理机构		代理人
主权项
地址