| 发明名称 |
PHOTOSENSITIVE HEAT RESISTANT POLYMER COMPOSITION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04120542(A) |
申请公布日期 |
1992.04.21 |
| 申请号 |
JP19900239862 |
申请日期 |
1990.09.12 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
KATAOKA FUMIO;SHOJI FUSAJI;OBARA ISAO;YOSHIKAWA HARUHIKO |
| 分类号 |
G03F7/027;C08G18/60;C08G18/81;C08G73/10;C08K5/17;C08K5/29;C08L79/08;G03F7/038;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
