MONITORING DIFFUSION PROCESSES IN THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICES,申请号GB19710014189-传众专利搜索

发明名称	MONITORING DIFFUSION PROCESSES IN THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号	GB1283004(A)	申请公布日期	1972.07.26
申请号	GB19710014189	申请日期	1971.05.11
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	HORST HEINZ BERGER
分类号	G01R31/26;H01L21/66	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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