发明名称 LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH BOAT
摘要
申请公布号 JPH04119987(A) 申请公布日期 1992.04.21
申请号 JP19900237675 申请日期 1990.09.07
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 OOKAWA YOSHINORI
分类号 C30B19/06;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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