发明名称 THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04119634(A) 申请公布日期 1992.04.21
申请号 JP19900239004 申请日期 1990.09.11
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 HIROTA MASANORI;FUSE MARIO
分类号 H01L21/22;H01L21/225;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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