发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04118922(A) 申请公布日期 1992.04.20
申请号 JP19900237202 申请日期 1990.09.10
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KANAI YOSHIYUKI
分类号 H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
地址