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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04118941(A) 申请公布日期 1992.04.20
申请号 JP19900239621 申请日期 1990.09.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KUBOTA AKIHIRO;YOSHIDA SHITOSHI
分类号 H01L23/50;H01L21/60 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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