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发明名称 METHOD FOR MEASURING SIZE OF INSULATING LAYER THROUGH HOLE
摘要
申请公布号 JPH04116948(A) 申请公布日期 1992.04.17
申请号 JP19900238650 申请日期 1990.09.07
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMAKAMI YURIKA
分类号 G01B7/13;G01B7/12;G01R31/26;H01L21/3205;H01L21/66 主分类号 G01B7/13
代理机构 代理人
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