发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04116825(A) 申请公布日期 1992.04.17
申请号 JP19900236315 申请日期 1990.09.06
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ISHIDA TOSHIYUKI
分类号 H01L21/768;H01L21/316 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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