发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04116831(A) 申请公布日期 1992.04.17
申请号 JP19900237684 申请日期 1990.09.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址