发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04116954(A) 申请公布日期 1992.04.17
申请号 JP19900237420 申请日期 1990.09.07
申请人 NEC CORP 发明人 WATANABE MASAKI
分类号 H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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