发明名称 OBJECT SEALING CONSTRUCTION
摘要
申请公布号 JPH04115161(A) 申请公布日期 1992.04.16
申请号 JP19900236830 申请日期 1990.09.04
申请人 TDK CORP 发明人 ISHIWATARI JUNICHI;SHINPO NOBUYUKI
分类号 G01P3/488;G01D11/30;G01R33/06;G01R33/07;H01L43/06 主分类号 G01P3/488
代理机构 代理人
主权项
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