发明名称 VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINES FILMES MITTELS IONENSTRAHL.
摘要
申请公布号 DE3485563(D1) 申请公布日期 1992.04.16
申请号 DE19843485563 申请日期 1984.11.06
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MIYAUCHI, TATEOKI, KONAN-KU YOKOHAMA, JP;YAMAGUCHI, HIROSHI, FUJISAWA-SHI, JP;HONGO, MIKIO, 1545, YOSHIDACHO TOTSUKA-KU YOKOHAMA, JP;MIZUKOSHI, KATSURO, ISOGO-KU YOKOHAMA, JP;SHIMASE, AKIRA;SATOH, RYOHEI, TOTSUKA-KU YOKOHAMA, JP
分类号 C23C14/48;C23C14/22;H01J37/305;H01J37/317;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
地址