发明名称 THINNING METHOD OF PARTICLE IN PARTICLE ACCUMULATION RING
摘要
申请公布号 JPH04115500(A) 申请公布日期 1992.04.16
申请号 JP19900235148 申请日期 1990.09.05
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 NAKAMURA TAKESHI;SUGIYAMA TAKU;YAMAZAKI TETSUO
分类号 H05H7/10;H05H13/04 主分类号 H05H7/10
代理机构 代理人
主权项
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