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发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04116158(A) 申请公布日期 1992.04.16
申请号 JP19900238696 申请日期 1990.09.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOSHIRAKAWA NOBUTAKA
分类号 C23C14/32;H01L21/203 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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