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发明名称
CHEMICAL VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04115531(A)
申请公布日期
1992.04.16
申请号
JP19900238711
申请日期
1990.09.05
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YAMAGUCHI TORU;TSUTAHARA KOUICHIROU
分类号
C23C16/52;H01L21/205;H01L21/31
主分类号
C23C16/52
代理机构
代理人
主权项
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