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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON GRAEBEN IN INTEGRIERTEN SCHALTUNGEN.
摘要
申请公布号
DE3585592(D1)
申请公布日期
1992.04.16
申请号
DE19853585592
申请日期
1985.11.04
申请人
ADVANCED MICRO DEVICES, INC., SUNNYVALE, CALIF., US
发明人
PRICE, WILLIAM L., SARATOGA CALIFORNIA, US;SCHLUPP, RONALD L., LOS GATOS CALIFORNIA, US;THOMAS, MAMMEN, SAN JOSE CALIFORNIA 95129, US
分类号
H01L21/76;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/762;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/306
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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