| 发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT HAVING VACUUM CHANNEL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04115441(A) |
申请公布日期 |
1992.04.16 |
| 申请号 |
JP19900234087 |
申请日期 |
1990.09.04 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
OKADA HIROYUKI |
| 分类号 |
H01J21/10;H01J1/30;H01J19/24;H01J21/06;H01J21/20;H01L29/66 |
主分类号 |
H01J21/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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