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发明名称 METHOD OF DIRECTLY BUILDING UP ACTIVE SPECIES ON DISTANTLY PLACED SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH04116172(A) 申请公布日期 1992.04.16
申请号 JP19900230455 申请日期 1990.08.31
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES INC 发明人 YOAHIMU DEERAA;RESUTAA AARU PIIDEIN;SUTEIIBUN JIEI HADENSU;JIEFURII EMU KURISUKO;SUTANFUOODO AARU OBUSHINSUKII
分类号 C23C16/24;C23C16/50;C23C16/511 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
主权项
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