| 发明名称 |
THIN FILM PRODUCING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04116173(A) |
申请公布日期 |
1992.04.16 |
| 申请号 |
JP19900233764 |
申请日期 |
1990.09.04 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
KODAMA KATSU;MURATA MASAYOSHI;TAKEUCHI YOSHIAKI;UCHIDA SATOSHI;HAMAMOTO KAZUTOSHI;SUZUKI TETSUYA |
| 分类号 |
C30B25/02;B01J19/08;C23C16/50;C23C16/513;C30B29/06 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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