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发明名称
摘要
申请公布号 DE3118785(C2) 申请公布日期 1992.04.16
申请号 DE19813118785 申请日期 1981.05.12
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE 发明人 HOERSCHELMANN, KONSTANTIN, DIPL.-PHYS.;KAUSCHE, HELMOLD, DIPL.-PHYS., 8000 MUENCHEN, DE;SPAETH, WERNER, DIPL.-PHYS., 8150 HOLZKIRCHEN, DE
分类号 H01L21/22;C30B31/16;C30B31/22;H01L21/223;H01L21/265 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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