PROCESS FOR FORMING SILICA FILMS,申请号EP19910116302-传众专利搜索

发明名称	PROCESS FOR FORMING SILICA FILMS
摘要
申请公布号	EP0479105(A3)	申请公布日期	1992.04.15
申请号	EP19910116302	申请日期	1991.09.25
申请人	NIPPON SHEET GLASS CO. LTD.	发明人	SAKAI, YASUTO;HAYASHI, SHIGEO;HISHINUMA, AKIHIRO;SANO, AKIHIDE;DEKI, SHIGEHITO
分类号	C03C17/02;C01B33/12;C03C17/25;C04B41/45;C04B41/81;C23C18/00;C23C18/12;C23C20/08;H01L21/316;(IPC1-7):C03C17/25;C04B41/87	主分类号	C03C17/02
代理机构		代理人
主权项
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