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发明名称 DEVICE FOR HEAT TREATMENT OF SEMICONDUCTOR PLATES
摘要
申请公布号 SU1727540(A3) 申请公布日期 1992.04.15
申请号 SU19894613491 申请日期 1989.02.08
申请人 KHEJNRIKH SELBRAND,DE 发明人 KHEJNRIKH SELBRAND,DE
分类号 H01L21/68;G02C7/02;G02C13/00;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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