发明名称 FORMATION OF INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH04113623(A) 申请公布日期 1992.04.15
申请号 JP19900233538 申请日期 1990.09.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ONISHI TERUTO;MATSUMOTO MICHIICHI
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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