MANUFACTURE OF THIN FILM DEVICE,申请号JP19900232938-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF THIN FILM DEVICE
摘要
申请公布号	JPH04113683(A)	申请公布日期	1992.04.15
申请号	JP19900232938	申请日期	1990.09.03
申请人	MITSUBISHI KASEI CORP	发明人	WATABE YUKIO
分类号	H01L39/24	主分类号	H01L39/24
代理机构		代理人
主权项
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