发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04113665(A) 申请公布日期 1992.04.15
申请号 JP19900233536 申请日期 1990.09.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HIRAI TAKEHIRO;KANDA AKIHIRO;TANAKA MITSUO;NAKATANI MASAHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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