发明名称 CONVERGED ION BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0398335(A3) 申请公布日期 1992.04.15
申请号 EP19900109351 申请日期 1990.05.17
申请人 KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO ALSO KNOWN AS KOBE STEEL LTD. 发明人 KAWATA, YUTAKA;INOUE, KEN-ICHI;ISHIBASHI, KIYOTAKA;KOBAYASHI, AKIRA;INOUE, KOJI;SUZUKI, NORIO;ARAI, AKIO;YAMADA, KANEO;TOKUSHIGE, KEIZO;FUKUYAMA, HIROFUMI;ADACHI, SHIGETO;FURUKAWA, YUKITO;TAKAHASHI, SUNAO;KIMURA, MAKOTO
分类号 G01Q90/00;H01J37/09;H01J37/256;(IPC1-7):G21K1/02 主分类号 G01Q90/00
代理机构 代理人
主权项
地址