发明名称 CLEANING PROCESS
摘要
申请公布号 JPH04114428(A) 申请公布日期 1992.04.15
申请号 JP19900233788 申请日期 1990.09.04
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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