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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04112555(A) 申请公布日期 1992.04.14
申请号 JP19900231643 申请日期 1990.08.31
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HASHIZUME TAKESHI
分类号 H01L21/82;G01R31/28;G01R31/316;G01R31/3185;H01L27/02 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
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