发明名称 INTEGRATED ELECTROSTATIC ACTUATOR
摘要
申请公布号 JPH04112688(A) 申请公布日期 1992.04.14
申请号 JP19900227922 申请日期 1990.08.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KABEI NOBUYUKI;TSUCHIYA KIICHI;MURAYAMA TOMOHIRO
分类号 H02N11/00;H02N1/00 主分类号 H02N11/00
代理机构 代理人
主权项
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