发明名称 METHOD FOR IMPROVING ADHESION BETWEEN A POLYIMIDE LAYER AND A METAL AND THE ARTICLE OBTAINED
摘要
申请公布号 US5104734(A) 申请公布日期 1992.04.14
申请号 US19880201989 申请日期 1988.06.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ANSCHEL, MORRIS
分类号 B32B15/088;B32B15/08;C23C14/02;C23C14/06;H01L21/312;H01L21/48;H01L23/498;H05K1/03;H05K3/38 主分类号 B32B15/088
代理机构 代理人
主权项
地址