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发明名称 APPARATUS FOR TESTING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04113283(A) 申请公布日期 1992.04.14
申请号 JP19900234024 申请日期 1990.09.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 INADA YASUHIKO
分类号 G01R31/26;G01R31/317;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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