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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING PLATED ELECTRODE WIRING AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04111311(A) 申请公布日期 1992.04.13
申请号 JP19900230290 申请日期 1990.08.30
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 EGUCHI YOSHIKAZU
分类号 H01L23/52;C23C18/31;H01L21/28;H01L21/288;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
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