| 发明名称 |
SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04110713(A) |
申请公布日期 |
1992.04.13 |
| 申请号 |
JP19900230100 |
申请日期 |
1990.08.31 |
| 申请人 |
OLYMPUS OPTICAL CO LTD |
发明人 |
KAJIMURA HIROSHI;FUNAZAKI JUN;TOMABECHI HIDEO;TAZAKI HIROSHI;SAITO KEISUKE;NAKAMURA YASUSHI |
| 分类号 |
G01B11/30;G01B21/30;G01N37/00;G01Q20/02;G01Q60/24;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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