发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04111445(A) 申请公布日期 1992.04.13
申请号 JP19900231517 申请日期 1990.08.31
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HARAJIRI SHUICHI
分类号 H01L21/76;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/762;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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