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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04107924(A) 申请公布日期 1992.04.09
申请号 JP19900227202 申请日期 1990.08.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 CHIJIIWA MASAHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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