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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04107809(A) 申请公布日期 1992.04.09
申请号 JP19900226033 申请日期 1990.08.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOMADA HIROZANE
分类号 H01L21/302;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/205;H01L21/30;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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