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发明名称 PLASMA INCINERATOR
摘要
申请公布号 JPH04107914(A) 申请公布日期 1992.04.09
申请号 JP19900227378 申请日期 1990.08.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAO SHUJI
分类号 C23F4/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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