发明名称 PHOTOSENSITIVE ORGANIC MATERIAL COATER
摘要
申请公布号 JPH04107811(A) 申请公布日期 1992.04.09
申请号 JP19900226187 申请日期 1990.08.28
申请人 NEC CORP 发明人 NOMURA YOICHI
分类号 G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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