发明名称 TREATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04107812(A) 申请公布日期 1992.04.09
申请号 JP19900225662 申请日期 1990.08.28
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOUKIYOU EREKUTORON KIYUUSHIYUU KK 发明人 MURAKAMI MASAAKI
分类号 G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/304 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
地址