| 发明名称 |
SINGLE CRYSTAL SILICON FILM FORMATION METHOD AND ITS DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04106918(A) |
申请公布日期 |
1992.04.08 |
| 申请号 |
JP19900224989 |
申请日期 |
1990.08.27 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SAKAI SHIGEKI;OGATA KIYOSHI |
| 分类号 |
H01L27/00;C30B29/06;H01L21/203 |
主分类号 |
H01L27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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