发明名称 PROCESS FOR FABRICATING A DEVICE
摘要
申请公布号 IE57062(B1) 申请公布日期 1992.04.08
申请号 IE19850003193 申请日期 1985.12.17
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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