| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SILICON WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04106948(A) |
申请公布日期 |
1992.04.08 |
| 申请号 |
JP19900224712 |
申请日期 |
1990.08.27 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
SHIRAI HIROSHI;WATANABE MIKIO;TAKASU SHINICHIRO |
| 分类号 |
G01N21/59;G01N21/21;G01R31/26;H01L21/304;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/59 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
