粒状硅原料供给装置

摘要

一种粒状硅原料供给装置包括一料斗(19)、供料器(15)、第一导向管(16)、供料管(19)、壳体(11)、闸阀(18)及第二导向管(21)。供料管(19)布置在第一导向管的下部，能上下运动；壳体(11)包封上述的料斗、供料器、导向管和供料管；闸阀(18)用来关闭生产单晶硅装置一个腔室的开口；第二导向管(21)布置在腔室(10)的开口中，把粒状硅原料导入坩埚内。

主权项

1.一种粒状硅原料供给装置包括：贮存粒状硅原料的料斗(13)；供应贮存在所述料斗中的粒状硅原料的供料器(15)；和给从供粒器输送过来的粒状硅原料导向的第一导向管(16)；供应粒状硅原料的供料管(19)，该管被布置在所述的第一导向管的下部；包封上述料斗、供料器、导向管和供粒管的壳体(11)；关闭生产单晶硅装置一个腔室的开口的闸阀(18)；以及布置在腔室(10)的开口中的第二导向管(21)，该管把粒状硅原料导入坩埚中，以熔化粒状硅原料；其特征在于：所述的供料管(19)围绕着第一导向管(16)的下部并能作上下运动。