| 发明名称 |
METHOD OF OPTIMIZING PHOTORESIST CONTRAST |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0399837(A3) |
申请公布日期 |
1992.04.08 |
| 申请号 |
EP19900305702 |
申请日期 |
1990.05.25 |
| 申请人 |
MOTOROLA, INC. |
发明人 |
WALDO, WHITSON GAMALIEL III |
| 分类号 |
G03F7/26;G03F7/16;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
