发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04105362(A) |
申请公布日期 |
1992.04.07 |
申请号 |
JP19900221346 |
申请日期 |
1990.08.24 |
申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
TSUKAMOTO KENICHI |
分类号 |
H01L21/822;H01L27/00;H01L27/04;H01L27/14;H01L27/15 |
主分类号 |
H01L21/822 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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