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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR SHAPE AND DIMENSION MEASUREMENT
摘要
申请公布号 JPH04105010(A) 申请公布日期 1992.04.07
申请号 JP19900222509 申请日期 1990.08.27
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MAXELL LTD 发明人 KATO KEIZO;MATSUOKA GENYA;NAKAYAMA YOSHINORI;HORIGOME SHINKICHI;FURUYA HISAHIRO
分类号 G01B15/00;H01J37/244;H01J37/28 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
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